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影响合肥净化车间造价的主要因素包含哪几个方面
发布时间：2025-06-04
来源：安徽维高环境科技 浏览次数：
净化工程(洁净室)是一个应用行业非常广泛的基础配套产业,目前在食品,化妆品,生物,医药,医疗设备,电子信息,半导体,精密制造,航空航天,汽车涂料等众多行业中得到应用,根据行业要求精密无尘,水平差异也较大.该房间由净化工程专门设计,无论外部空气条件如何变化,房间都具有保持原有设定温湿度,清洁度和压力要求的性能.因此,影响净化工程(洁净室)成本的因素很多.
I.温度和湿度
洁净室的温度和湿度主要根据工艺要求确定,但在满足工艺要求时应考虑到人们的舒适度.随着空气洁净度要求的提高,出现了对温度和湿度的技术要求越来越严格的趋势.随着加工精度越来越精细,对温度波动范围的要求越来越小.对于直径为100微米的硅晶片,温度上升1度将导致0.24um的线性膨胀,因此需要±0.1度的恒定温度.同时,湿度值一般较低,因为人们在出汗后会污染产品,特别是对于不怕钠的半导体车间,不应超过25度.
高湿度会产生更多问题.当相对湿度超过55%时,冷却水管壁会凝结,如果在精密装置或回路中,会引起各种事故.相对湿度容易生锈50%.另外,当湿度太高时,硅晶片表面上的灰尘将被空气中的水分子化学吸附,这难以去除.相对湿度越高,去除粘附力就越困难.然而,当相对湿度低于30%时,由于静电力的作用,颗粒也易于吸附在表面上,并且大量半导体器件易于破裂.
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